금속 회전 대상
제품 설명
메탈 로터리 타겟
스퍼터링 타겟(음극)과 양극 사이에 직교 자기장과 전기장이 적용됩니다.그리고 고진공 챔버에 필요한 불활성 가스(일반적으로 Ar 가스)를 채웁니다.전기장의 작용으로 Ar 가스는 양이온과 전자로 이온화됩니다.타겟에 일정한 음의 고전압을 인가하면 타겟에서 방출되는 전자는 자기장의 영향을 받아 작동 가스의 이온화 확률이 높아지고 음극 근처에 고밀도 플라즈마가 형성되어 Ar 이온이 영향을 받음 로렌츠 힘에 의해그런 다음 가속하여 타겟 표면으로 날아가고 타겟 표면을 고속으로 폭격하여 타겟의 스퍼터링 된 원자가 운동량 변환 원리를 따르고 타겟 표면에서 기판으로 비행하고 높은 운동 에너지 필름을 증착합니다.
타겟 재료의 이용률을 더욱 향상시키기 위해 사용 효율이 더 높은 회전 음극을 설계하고 스퍼터링 코팅에 튜브형 타겟 재료를 사용합니다.스퍼터링 장비의 개선은 타겟을 평평한 형태에서 관형으로 변경해야 하며 관형 회전 타겟의 활용률은 70%에 달할 수 있어 플랫 타겟의 활용도가 낮은 문제를 크게 해결합니다.
| 제품명 | 금속 회전 대상 |
| 재료 | W, Mo, Ta, Ni, Ti, Zr, Cr, TiAl |
| 뜨거운 판매 크기 | ID-133/ OD-157x 3191mm ID-133/OD-157 X 3855mm ID-160/OD-180x1800mm 고객의 특정 요구 사항에 따라 처리할 수도 있습니다. |
| MOQ | 3개 |
| 패키지 | 플라이 나무 케이스 |
참고: 우리는 주로 다양한 금속 타겟을 생산합니다. 자세한 내용은 당사에 문의하십시오.
신청
스퍼터링 코팅은 새로운 유형의 물리적 증기 코팅 방법입니다.증발 코팅 방식과 비교할 때 분명한 장점이 있습니다.
여러 측면에서.금속 스퍼터링 타겟은 많은 분야에서 사용되어 왔습니다.회전 대상의 주요 응용 프로그램입니다.
■태양 전지
■건축 유리
■자동차 유리
■반도체
■평면 TV 등
주문 정보
문의 및 주문에는 다음 정보가 포함되어야 합니다.
☑대상 사양 ID×OD×L(mm).
☑필요한 수량입니다.
☑더 특별한 요구 사항에 대해서는 저희에게 연락하십시오.
